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ウェットプロセスにおいて使用される薬液はますます多成分化が進み、薬液濃度の綿密な管理が求められています。
新たに出展した非接触型薬液濃度モニタ・熱リン酸モニタをはじめ、溶存酸素・導電率・pHなどさまざまな薬液濃度モニタを紹介します。

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アプリケーション

Wet Process

Wet Processを支えるHORIBAの新開発

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非接触型薬液濃度モニタ
CS-900

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半導体WETプロセス分析装置
（薬液濃度モニタCSシリーズ）

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溶存酸素モニタ / センサ
HD-960L / DO-100

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微量サンプリング pHモニタ
UP-100

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［HORIBAグループ全社休業のお知らせ］

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