SEMICON Japan 2021 HORIBAグループオンライン展示会

HORIBAが長年の経験と実績から様々なソリューションをご提案

スマートウォッチやスマートフォンのような身近にあるデバイス、自動運転に欠かせないセンサー、
AIを実現する高性能なCPUなど、日々重要さを増していく半導体。
求められる性能や機能は多種多様で、課題もまた複雑さを増していきます。
そのヒントを探る手がかりに HORIBAの長年の経験と実績からご提案する様々なソリューションをぜひお役立てください。

7つのアプリケーション

チャンバー状態監視

  • バブラーからの原料の発生量を管理し、品質を安定
  • チャンバーの残留ガス計測に適したモニタ

物性評価

  • Chemical Mechanical Planarization
  • Quantum Dots
  • Material & Thin Film Characterization

薬液濃度モニタリング

  • 高温薬液から特殊薬液まで、多種多様な薬液濃度モニタリングに対応
  • 薬液濃度を数値化して解決！

レティクル・マスク検査/異物除去

  • レティクル/ブランクス/ペリクルに付着した異物を迅速に測定&レビュー

エンドポイント検出

  • プロセスやクリーニングのエンドポイントを高速に精度良く検出
  • 既存の方法では計測できないプロセスのエンドポイントを確認
  • プラズマ発光から適切なプロセスのエンドポイントを確認

流体制御

  • 流体計測
  • 真空計測

ファシリティ管理

  • 手分析技術者のスキルに依存せずAMCを連続的に多点で計測
  • 難分解性サンプルを高速かつ正確に測定
  • センサのメンテナンスコストや作業工数等を削減
  • その他のファシリティ管理

075-325-5174
電話受付時間
9:00〜12:00、13:00〜17:00
（祝祭日・4/8・5/1~5/8・10/7・11/4を除く月～金）

［大型連休に伴う休業のお知らせ］

誠に勝手ながら、2022年4月29日（金）～5月8日（日）はHORIBAグループの全社休業日となります。
この間にいただいたお問い合わせにつきましては、5月9日（月）より順次対応いたします。
ご不便をお掛けしますが、ご理解、ご了承いただけますようお願いいたします。

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