2010年8月 3日 - 中国国内の太陽電池製造装置メーカーへの迅速供給体制構築へ
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2010年7月 6日 - 韓国国内の半導体・LED製造装置メーカーへの迅速供給体制構築へ 生産ラインを韓国 現地販売・サービス法人内に新設
2010年4月20日 - 微細化する次世代LSIに対応
2009年12月 1日 - 世界初 4項目全て自社センサー搭載 エネルギー変換効率の安定化に寄与
2009年11月 4日 - 各種流体制御機器カタログのダウンロードサービスを再開いたしました。
