新気化方式のトルネードフロー方式による高効率気化を実現した小型の液体材料気化システムです。低温度での安定気化が可能です。

ノンキャリアタイプのコンパクト液体材料気化システム。TEOS気化システムのベストセラーモデル。

液体材料の気化システムのベストセラーモデル。半導体や光ファイバー生産設備をはじめ、幅広い生産設備に採用されています。

過酸化水素の大流量気化供給が可能。

独自のパルスインジェクションによる気化・霧化技術と最適化されたヒーティングチャンバにより、高信頼性と高い再現性を持った液体材料気化システム。低蒸気圧材料、溶剤中の固体材料、熱分解しやすい液体材料等の気化が可能です。　

HORIBA POCl3自動供給装置は、高い生産性、コスト削減、プロセス安定性、高い安全性、信頼性を実現しています。

液体材料を｢安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できるオートレフィルシステム

差圧方式の採用により、100msecの高速応答を実現した液体用マスフローメータ。液体材料の使用量低減に貢献します。

冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ＆メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。

接線流羽根車方式を採用した小型液体流量計です。

楕円ギア方式を採用した小型液体流量計です。

LD Series/LM Series専用の瞬時流量指示計です。

前面パネルからの操作が行えます。