大流量ベーパライザ LE Series
概要
流路配管とヒータをアルミニウム合金で鋳込んだ高い気化効率の大流量ベーパライザです。
特長
‣ 高気化効率・熱伝導の良いアルミニウム合金でステンレス配管とヒータを鋳込んだ構造です。
‣ 詰まり、腐食に強い・ベーパライザ内部の接液部部品は、ステンレス配管のみです。
‣ 高温使用可能・ベーパライザの設定温度は室温＋５℃～３００℃（常時使用可）です。
‣ 濃度安定：新開発の定量化ノズルにより液流量をベーパライザに安定注入します。
製造会社: HORIBA STEC
仕様
【主な仕様】
■対応機種
H2O／IPA/TEOS/SiCl4 他
■発生流量（ガス流量）
H2O ： 10g/min （12.4SLM）
IPA ： 30g/min （11.1SLM）
TEOS ： 50g/min （5.3SLM）
SiCl4 ： 130g/min （17.1SLM）
外形寸法図・他（単位：mm）
