■インジェクション方式とは

液体材料を気化しプロセスチャンバへ供給するためには、下記の項目が重要なポイントとなります。

1. 液体材料の流量を測定し、液量をバルブによりフィードバック制御する

2. 液体を瞬時に完全気化する

3. 発生したガスを再液化させないで送出する

インジェクション方式による気化システムは、上記1、2及び3を連続的に行えるシステムです。VCシリーズは、液体材料の液量をマスフローメータにより計測し、キャリアガスを用いない気化システムです。MI/MVシリーズは、マスフローメータにより計測し、マスフローコントローラにより制御されたキャリアガスをMI/MVシリーズへ導入し、液体材料を気化するシステムです。

 

  

気化混合方式とは

MI/MV Seriesの気化方式です。キャリアガスはインジェクタ内部にあるノズルの手前で圧力が高くなるため効率よく加熱されます。液体材料と加熱されたキャリアガスとは、ノズル手前にある気液混合部で混合され、ノズルを通過する時に減圧され気化されます。従来の気化方式と比べ気化効率が向上し、発生流量の拡大と発生温度の低温化が可能となりました。