小型流量センサ MF-F Series

概要

MEMS技術を用いた小型流量センサーです。
業界トップクラスの小型化を実現しながら、正確な流量計測が可能です。

特長

小型流量センサの操作性を追求、さまざまなシーン、用途にベストな選択が可能です。

大流量でもコンパクト
500、1000L/minタイプでは、業界トップクラスの小型化を実現しました。設備の小型化、軽量化に貢献します。
高速応答　50msec以下
シリコンマイクロ加工技術を応用した白金センサチップの採用で、高速応答を実現。タクトタイムの短縮に貢献します。
精度　±3%F.S.以下
精度±3%F.S.を実現し、より正確な流量計測が可能になりました。
自由な取り付け姿勢
上下左右どの方向にも取り付けることができます。
直管部不要
新提案の整流機構により、上流側・下流側ともに直管部が不要です。
ツイン表示/2色表示機能
メイン画面とサブ画面により、操作性を向上させました。更に、2色表示で異常がー目で判ります。

製造会社: HORIBA STEC

仕様

流量レンジ・接続ロ径・ボディ材質

流量レンジ・接続口径・ボディ材質

適応流体

出力形式

アナログ出カ1点（1-5Vまたは4-20mA）
スイッチ出カ2点（NPNまたはPNP）

バルブ無しモデルも標準ラインアップ

樹脂・アルミボディタイプ仕様

ステンレスボディタイプ仕様

※1：20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算
※2：漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。
※3：流量表示は約±1％F.S.未満において切り捨て（強制ゼロ）をしております。
※4：積算流量は計算（参考）値です。電源を切るとリセットされます。
※5：圧縮空気をご使用の場合は、JIS B8392-1 : 2003 等級1.1.1?1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ（濾過度：5μm）、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。
＜推奨回路＞

また、圧縮空気以外をご使用の場合は、塩素、硫黄、酸等の腐食性分を含まない乾燥気体で、かつ圧縮空気と同様にダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用下さい。
※6：応答時間は、設定にて50ms以下?約1.5sまで7段階の設定ができます。
※7：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
※8：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。
※9：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
※10：弊社フローラインシリーズからの置換えの場合、圧力損失が異なりますので、ご注意ください。

型番表示方法

流量レンジと接続口径（ボディ材質）、ガス種ニードル弁付きの組合せ

オプション単品型番

※：パネル取付キットはMF-FA1ON A15タイプへは取付けられません。

〈型番表示例〉

MF-FP10NH06-010-AI-ANV1MB1NP1N
(1) ボディ材質：樹脂(禁油なし)
(2) 継手：ワンタッチ(Φ6)、樹脂ボディ
(3) フルスケール流量：1L/min
(4) ガス種：圧縮空気、窒素
(5) アラーム出力：スイッチ出力(NPN)2点、アナログ出力1点
(6) アナログ出力：電圧出力(1-5V)
(7) 付属ケーブル：長さ1m
(8) 付属固定用ブラケット：ブラケット付(樹脂、ステンレスボディ用)
(9) パネル取り付けキット：パネル取り付け(ニードル弁付)
(10) ニードル弁：ニードル弁付

外形寸法図

オプション外形寸法図

内部回路および負荷接続例・本体コネクタ

測定原理

流量の計測原理

MF-F Seriesでは、シリコンマイクロ加工技術を応用した、白金センサチップ（3mm×3.5mm）を採用しております。センサ部は、シリコン基板から熱的に絶縁されており、熱容量が極めて小さいため、高速応答で高感度です。
センサ部には、2つの温度センサがヒータを挟んで配置されています。温度センサの材質には、温度によって抵抗値が変化する、白金を用いています。ヒータに通電加熱すると、流れの無い場合は、温度分布がヒータを中心に対称となります。流れを受けた場は、温度分布の対称性が崩れ、ヒータ上流側の温度は低下し、ヒータ下流側の温度は上昇します。この温度差は、温度センサの抵抗値の差となって現れ、流量によって変化します。また、逆方向に流れた場合は、温度差（抵抗値の差）が逆転します。この方式を用いると、双方向の流量を検知することができます。また、この方式は比較的小流量の検出に適しています。

アプリケーション

エア消費流量管理
積算パルス出力やアナログ出力をモニタすることにより、設備単体のエア消費量がわかります。
塗装エアの流量管理
塗装エアの流量管理にも最適です。塗装品質の安定に貢献します。
半導体製造装置パージガスの流量管理
パージガスの管理は、半導体製造装置の性能維持に不可欠です。
放出ガスを嫌う用途には、ステンレスボディタイプが最適です。スイッチ出力を使用することにより、異常検知ができます。