超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series
概要
差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー
モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現しています。
特長
- 高速応答
応答速度：0.4秒以内 - 軽量化・コンパクト
幅10mm、高さ99mm - 高精度
±0.5% S.P.を実現 - 集積化対応
- 通信方式
DeviceNet™通信モデル - 一次側供給圧力範囲の拡大
110～900kPa - PI機能 （Pressure Insensitive）
急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新の
アルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが
可能。ガスラインのシンプル化を実現します。 - マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
ユーザーサイドで「ガス種」「フルスケール流量」「供給圧力レンジ」
の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。 - 自己診断機能 G-Life
(Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)
⇒「CRITERION 性能について」 はこちら
製造会社: HORIBA STEC
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