サーマル方式PIマスフローモジュール SEC-Z700X Series
概要
信頼性のあるサーマル方式の流量センサーを搭載したマスフローモジュールです。マルチディスプレイ機能、PI機能を搭載し、シンプル・軽量なガスラインを構築します。±1% S.P.の高精度、1.0秒の高速応答。
特長
- PI機能搭載
急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
- マルチレンジ/マルチガス機能
ユーザーサイドでのガス種変更・フルスケール流量変更が可能 - フルレンジ高速応答1秒以内
- レギュレータ、圧力計、フィルタが不要でガスラインのコンパクト化に貢献
- 1次圧、2次圧変動の影響なし
- Inlet Pressure Sensor 搭載
- マルチディスプレイ機能搭載
- 高精度
1%S.P.での流量精度保証 - ウルトラクリーン
メタルダイヤフラム、オールステンレス、内面研磨標準 - ネットワーク機能を内蔵し、Digital信号による制御を行います。
製造会社: HORIBA STEC
アプリケーション
幅広い産業でご使用いただいています
- 各種生産装置への搭載：半導体、LED
- 研究・開発：半導体プロセスにおける微細化・大口径化開発
マルチガス・マルチレンジ フルスケール流量の一例
