デジタルマスフローメータ SEF-Z500X Series
概要
ベストセラーモデルのデジタルマスフローメータ。
自身でガス種/フルスケール流量を変更できるマルチレンジ/マルチガス機能、ピエゾバルブ搭載による±1.0 S.P.の高精度、高速応答、オールメタル対応など、最先端プロセスに必要な機能がこの1台に集約されています。
特長
- マルチレンジ/マルチガス対応
お客様ご自身でマスフローコントメータの仕様変更が行なえます。 - 微少流量(5SCCM F.S)から大流量(200SLM F.S.)までフルラインアップ
- 高精度
±1.0% S.P.(セットポイント)保証。 - 高速応答
フルレンジ1秒以内(T98) Variable PIDを搭載。 - コンパクトサイズ
面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR Type)、1.125inchガスパネルに対応。 - ウルトラクリーン対応
接ガス部オールステンレス構造の採用、内面研磨処理標準。
製造会社: HORIBA STEC
「お見積りはこちら」より仕様ご選定の上、お問合せ下さい。価格は仕様により異なりますので、別途お見積り致します。
お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。
株式会社堀場エステック
カスタマーサポート
フリーダイヤル 0120-077-633
受付時間：
9:00～12:00／13:00～17:00
月曜日～金曜日（祝日をのぞく）
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