コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System
残留ガス・不純物の計測

最適なプロセスの維持、品質・歩留り・装置稼働率の向上に貢献します。

N₂、O₂、Ar、H₂O、CO₂、Heなど

チャンバ壁面・基板からの放出ガスモニタ、外部リークチェックなど