コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System
チャンバ内雰囲気の制御

チャンバ内の雰囲気をコントロールすることで安定した生産を実現します。

プラズマエミッションコントローラRU-1000でH₂Oの分圧測定値が一定になるようにH₂O流量をフィードバック制御をすることで、チャンバ雰囲気の膜質の均一化に貢献。またH₂O添加量の誤差が少なくなることで品質のバラツキを小さくすることができます。