プラズマ発光モニタEV-140Cはエッチングガスや副生成物由来のプラズマ発光をモニタすることにより、その変化からエッチングのエンドポイントをリアルタイムに検出することが可能です。また多彩なソフトウェアを組み合わせて使用することで、エンドポイントの検知のみならずプラズマのコンディション管理、異常検知に発展させていくことも可能です。

• エッチング装置において、正確にエンドポイントを検出したい
• プラズマCVD装置において、プラズマのコンディション管理や異常検知を把握したい

これらのお悩みをEV-140Cが解決します！

解決方法、事例はこちらの資料をご覧ください。