お客様のご要望や条件に応じた最適なシステムをご提案します。

任意濃度の湿度を発生

加湿する水分の量を液体用マスフローコントローラで制御し、キャリアガスとともに、気化器へ導入します。気化器では、瞬時に水を気化しガス化することにより、安定した任意の湿度を含むガスを発生します。

アルコール材料などの液体材料もガス化できる混合ガスがつくれる

アルコールをはじめとした液体材料も、同様にガス化(気化)が行えます。 


腐食や毒性の強い液体材料も気化できる

特殊な液体材料も正確に安定して気化供給。任意の条件で変化させることも可能です。

特性に応じたシステムをご提案

腐食性や毒性を持つ液体材料への対策として、接液部すべてにステンレス材を採用するなど、安定した使用が行なえるシステムをご提案します。 


湿度(露点)コントロール技術

一般的に湿度(露点)制御にはバブリング方式が採用されていますが、バブリングタンクの温度・圧力やキャリアガス流量を総合的に制御する必要があります。一方当社では、ガス・液体用マスフローコントローラを搭載したシンプルな「直接気化システム」をご提案し、幅広い用途に採用されています。

直接気化システムの原理

※バブリング方式においては、正確なキャリアガス流量や温度制御、発生圧力の制御が必要です


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お客様のご用途に応じたマスフローコントローラや、液体の気化器、バルブ・ヒーター等をシステムアップしてご提供します。

バブリングシステム

当社のノウハウを活かし、発生温度・流量の最適制御が可能です。また、解析システム(CAE)等を活用し、最新の設計を行っています。

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