マスフローコントローラで、必要な濃度のガスを安定して供給できます。

混合ガスがつくれる

  • 必要な混合ガスが現場でつくれます。
  • 粘性の違うガスを均一に混合できます。
  • 数種類以上の異なるガスを供給し続けることができます。

省コスト・省スペースに貢献

  • 必要な時に必要な量を、混合ガス発生機を用いて発生・供給することで、ガスボンベの保管スペースの削減が行えます。

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流量比混合法

流量比混合法は、多成分のガスを各々正確に流量制御を行い、均一混合し、混合ガスとして発生します。ガス濃度はガス流量に比例し、流量を制御する事により、目的とする濃度の混合ガスを発生します。
下図に、二成分混合ガス発生(成分ガスの希釈)の例をご紹介します。

流量比混合法の原理

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