インラインガス濃度・真空計測に関するご提案

バブリングシステムでの発生ガス濃度をリアルタイムに計測します。

解決!

小型で取付け自由

サンプリングラインが不要で、コンパクトなインラインガスモニタを用意しています。既存システムに容易に搭載可能です。

+α!

1台2役!
濃度の計測と制御が可能に

濃度制御バルブとのシステムアップにより、総合的な発生濃度システムが構築可能です。


HORIBAの分析技術

インラインガス濃度モニタでは、赤外線吸収法に分類される、非分散型赤外線吸収法(NDIR)を採用しています。ガスを直接計測することにより、インラインでガス濃度が計測できます。

関連製品

ガス濃度モニタ
IR-300 Series

NDIR法を用いたコンパクトサイズのガス濃度モニタです。洗浄装置や、LED製造装置等で使用される特定のガス濃度を、インラインで計測できる濃度モニタとして、多数採用されています。  

ガス濃度モニタ IR Series

微量に残留するガスを容易に計測します。

解決!

簡単操作で真空を計測

世界最小クラスの計測部と簡単操作が可能な制御部により、取付け・操作性が向上しました。

※2012年12月当社調べ

+α!

残留ガス計測の必要性

微量水分や酸素などが成膜プロセスに影響を与えます。残留ガス分析の必要性が注目されています。


真空測定技術

真空中のガス分析法には、四重極質量分析法があります。真空中の全圧だけでなく、分圧を計測し、微量なガス成分を分析する手法として認知されています。

関連製品

残留ガス分析計
MICROPOLE System

四重極質量分析法を利用した、世界最小クラス※の残留ガス分析計です。各種真空装置のプロセス管理(品質向上・歩留まりの向上)に貢献しています。
(※2020年自社調べ)

残留ガス分析計 MICROPOLE System