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(本文は英文です。)


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カーボンは、共鳴ラマン効果によって強いラマン散乱を示します。燃料電池に使用される電極上、および、ポリマー上のカーボンの劣化状態のモニターなどの評価の研究に使われています。


ラマン分光法は、カーボンナノチュ -ブの構造解析にはなくてはならない分析手法です。基板上に存在するカーボンナノチューブについて、いくつかの特徴的な測定例を紹介します。


SiCウェハの非破壊評価光分析としてフォトルミネッセンス(PL)寿命測定ではキャリア寿命に関して有効なデータを得た。さらに,CL像により検出された欠陥周辺の応力分布をラマン分光により評価できることを示した。


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