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(株)堀場製作所 紺野象二郎

Electronic Journal 2002年9月号


薄い構造のエッチングをいかに精度良くコントロールするかが問題となっている。仏JobinYvon社は、化合物半導体、シャロートレンチエッチングのIn-situモニタ技術を考案し、エッチング終点検出モニタ「DIGILEM」を開発した。固体レーザを光源とし、基板からの反射・干渉を分析することで、エッチングレート、エッチング厚、膜境界面の検出を可能にしている。ロット間の膜構造や組成のばらつきも検出でき、薄膜プロセスの歩留り向上に貢献する。


(株)堀場製作所 紺野象二郎

電子ジャーナル 2003 MEMS Technology Outlook


MEMSデバイス製造に不可欠な工程であるDeepエッチングにおいてエッチングのエンドポイントを精度良く検出することはより高精度なデバイスを必要とする業界、または歩留まりを向上させるために、益々、重要度が増してきている。特に深堀りを必要とするデバイスにはエッチング時間が増大するため大きな問題であり、かつ、チャンバー内のコンディションを保つのは難しくなる。以上の問題点を解決するためのモニター技術として、堀場製作所では次の方法を提案する。


Pascal Amary, Denis Cattelan:Jobin Yvon S.A.S

(株)堀場製作所 技術情報誌 Readout 28号(2004年3月)

マイクロマシニングの分野では、溝(トレンチ)の深さを正確に計測できるリアルタイムモニタが求められている。ジョバンイボン社では、干渉計を応用したエッチングモニタツイン・スポット干渉計に続き、新しくトレンチ深さを正確にリアルタイムにモニタすることができる偏光カメラを開発した。本稿では、測定原理及びエッチングとパッシベーションを繰り返すボッシュ・プロセスでの実装試験結果を紹介する。