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(株)堀場製作所 技術情報誌 Readout 21号 (2000年9月)


全自動分光エリプソメーターUT-300は、生産ライン向けに特化した全自動膜厚計である。ここでは、そのレシピ作成の中核をなす分光エリプソメーターのスペクトル解析について述べる。UT-300のターゲットである最先端の膜種は、解析手法も最新の技術が用いられるが、今回はそのベースとなる解析手順とその際考慮すべき点を中心に解説する。