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  • MoSiの発光分析による測定例

  • GaAs/AlGaAsの干渉計による測定例

  • InGaAs/InPの多層膜の干渉計による測定例

  • Nb/Auの干渉計による測定例

  • SiのDeep Trenchの干渉計(DIGILEM)による測定例 (ボッシュプロセス)

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