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新型のデジタルマッチング制御式高周波電源を用いれば、従来難しかった低い出力でのプラズマ点灯・スパッタが可能になるため、熱影響の大きい有機系試料へのダメージがより低減することが可能です。
rf-GD-OESは原子発光を応用した分光分析法のため、水素Hなどの軽元素の分析を行うことができます。よって、リチウムLiも測定できるということで、最近ではLi電池材料の分析・評価などに応用される場合があります。