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GD-OES分析において、熱電導性の低いサンプルや熱ダメージに弱いサンプルに対して、堀場製作所の特許であるパルススパッタリングは良好な測定結果が得られます。ここでは、ステンレス基板上のゴム皮膜を通常スパッタ法とパルススパッタ法で測定した結果を示します。


高周波法を用いたGD-OES法では、非導電性の材料でも、迅速に深さ方向元素分析を行うことができます。ここでは、モバイルPC用ガラス基板ハードディスクの分析事例をご紹介します。


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