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新型のデジタルマッチング制御式高周波電源を用いれば、従来難しかった低い出力でのプラズマ点灯・スパッタが可能になるため、熱影響の大きい有機系試料へのダメージがより低減することが可能です。
- 分光エリプソメーターによるパッケージアプリケーションの評価例