製品情報
放射温度計プラザ通信 Vol. 5
最新アプリケーションのご紹介
HORIBAグループは、昨年12月に東京ビッグサイトにて開催されましたSEMICON Japan 2016に出展し、半導体製造工程での温度管理に最適なIT-470シリーズを、実際のウェハを用い測定例を再現、展示いたしました。
半導体製造工程では、高精度かつ高再現性での温度管理が必要不可欠です。今後、さらに高度で多品種少量生産が進み、それに伴う温度計測への要求も高まると考えられます。
当社のMEMS技術を駆使し、業界最高精度*の性能を有したIT-470シリーズをご紹介いたします。
- IT-470シリーズ
窓を通して真空チャンバー内の外側からでも
サセプタの温度測定が可能！
- IT-470シリーズ
窓を通して真空チャンバー内の外側からでも
サセプタの温度測定が可能！
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 測定温度範囲 | －50〜200℃ |
| 測定波長 | 8〜14μm |
| 放射率補正設定 | 0.001〜1.000の間で設定可能 |
| 測定精度 （光出力放射率1.000の時） |
±4.0℃（対象温度 －50℃） ±0.8℃（対象温度 －20℃） ±0.6℃（対象温度 0℃） ±0.5℃（対象温度 23℃） ±0.4℃（対象温度 100℃〜） |
| 再現性 （光出力放射率1.000の時） |
0.7℃（対象温度 －50℃） 0.5℃（対象温度 23℃） 0.5℃（対象温度 200℃） |
| 測定視野 | Φ8mm以下／距離150mm |
●IT-470シリーズ 〜 業界最高精度*の温度測定を実現！ *業界最高精度 2016年当社調べ
装置を組込んでのデモも実施しておりますので、ぜひご相談ください。
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［HORIBAグループ全社休業のお知らせ］
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