トピックス：分光エリプソメトリーによるバイオライフサイエンスのアプリケーション

Figure 1 Setup of spectroscopic ellipsometer(UVISEL）

* 株式会社　堀場テクノサービス
分光エリプソメトリーは約30年前から半導体分野を中心に使われてきたが，ここ10年でディスプレイ，太陽電池，化学，金属など様々な分野で使われるようになった。分光エリプソメトリーは膜厚と光学定数の他に，バンドギャップ，組成，電気特性（抵抗率，キャリア密度，移動度）も求められる。また，液中のサンプルに対しても測定ができる。近年はバイオライフサイエンスの分野においても，分光エリプソメトリーが使われるようになってきており，本稿ではその例を紹介する。

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