IPA比抵抗計 IP-960

*株式会社コス

最近、半導体プロセスにおける蒸気乾燥工程では純度の高いIPA(isopropyl alcohol)が主に使われている。このたび、㈱コスでは水分やイオン性不純物がIPAに混入すると比抵抗が低下する現象を利用して、IPAの純度を監視するIPA比抵抗計“IP−960”を製品化した。本器は、増幅器を内蔵させた交流2極法の検出器を使い、IPAの比抵抗を正確かつ安定に測定することができる。蒸気乾燥装置やIPAリサイクル・システムに直結しIPA純度の連続モニタとして今後の活躍が期待される。

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