一般論文　：　SEMを用いた原子分解能ホログラフィー：逆X線光電子ホログラフィー

逆X線光電子ホログラフィー（Internal-Detector Electron Holography）とは，走査型電子顕微鏡（SEM）を用いた原子分解能ホログラフィーである。本技術を用いることで，実験室レベルで容易に特定原子周辺の局所構造解析が可能になる。本項では，逆X線光電子ホログラフィーの原理と標準試料の測定結果（バルク試料：SrTiO3，薄膜試料：Pt）について述べる。

Internal-Detector Electron Holography, which is one of the Atomic Resolution　Holography, can be proved with Scanning Electron Microscope. With Internal-Detector Electron Holography, we can analyze the local structure around the specific atoms in the laboratory. In this paper, I explain the theory of Internal-Detector Electron Holography and the measurement results of a bulk sample (SrTiOe3) and a thin film sample (Pt).

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