The Trends in Semiconductor Process Control in the Next Generation Devices
1998年9月 7日
*SEMI/SEMATECH, U.S.A.
1965 年にインテルのDr. Gordon Moore はCPU 用トランジスタは２年毎に倍増すると予測した。以来, 半導体技術・業界の躍進は目覚しく, 最近10 年間の成長率は15.7% にもなっている。半導体デバイスの開発サイクルはますます加速されており, National Technology Roadmap for Semiconductors (1997 年度版)によると, 1994 年当時は３年であったが，現在では２年へと短縮されている。このため, 材料,プロセス制御, デバイスメ－カ－など半導体に関連する全ての業界で, 生産効率の上昇, 装置や材料の利用効率の向上, 意思決定の迅速化, 利潤回収の短期化に絶えず迫られている。「自動車業界が半導体業界なみの技術的進歩を達成できていたなら, 1986年の新発売時に販売価格が＄10, 000であったフォ－ドのタウラスは, 現在では＄150 前後となっていたはずだ」（米国半導体工業会(SIA), 1998 より）
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