全自動超薄膜計測システムUT-300のソフトウエアシステム

製作者：鉤正章*

2002年9月19日

*株式会社堀場製作所

UT-300は半導体デバイス製造ラインで、薄膜の膜厚・屈折率・減衰率などの光学定数を測定する全自動超薄膜計測システムである。分光エリプソ法を測定原理とした本装置は、多層・超薄膜の特性を正確に測定することができる。本稿ではソフトウエアシステムを中心にUT-300の機能と特長を紹介する。