全自動超薄膜計測システム UT-300 Part3 多層解析の実例

*愛宕物産株式会社

全自動分光エリプソメータUT-300は生産ライン向けに特化した全自動膜厚計である。ここではそのレシピ作成の中核をなす分光エリプソメータのスペクトル解析について述べる。UT-300のターゲットである最先端の膜種は解析手法も最新の技術が用いられるが、今回はそのベースとなる解析手順とその際考慮すべき点を中心に解説する。

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