SiCキャリア寿命分析


PL寿命測定による異なるSiC成膜条件のキャリア寿命分析

ドーパント量が多い基板はPL寿命が短く、また500 nm付近にPLピークが現れます。


蛍光寿命測定装置 DeltaFlex

PL寿命測定により、キャリア寿命の違いを観察
多彩な光源波長レパートリ
ピコ秒から数秒のワイドレンジのPL寿命に対応

蛍光寿命光度計 DeltaFlex/DeltaPro

半導体材料分析におけるソリューションをまとめたSemiconductor Navi
半導体材料分析におけるソリューションをまとめた
Semiconductor Navi(PDF)のダウンロードはこちら