分光エリプソメータでわかる膜の情報


分光エリプソメータでは、自然酸化膜の膜厚、エッチングにおいて生じる表面ラフネス、界面の状態、薄膜の結晶性、薄膜の粗密、膜の均一性など、単層、多層に関わらず、膜に関する多くの情報を得ることが可能です。

分光エリプソメータでわかること-自然酸化膜の膜厚,表面ラフネス,界面の状態
分光エリプソメータでわかること-薄膜の結晶性,薄膜の粗密,膜の均一性
分光エリプソメトリーでわかること-分光エリプソメトリーの手引き



超薄膜の膜厚・膜質分析


分光エリプソメータによるÅオーダ薄膜のSiO₂膜分析

Si基板上に成膜されたSiO₂超薄膜の膜質を改良するために処理を施すことがありますが、UVISEL Plusではその処理前後のわずかな膜厚・膜質の違いを識別できます。

Si基板上に成膜されたSiO₂超薄膜の膜質を改良するための処理前後の構成図

処理することにより数Åの膜厚の変化とわずかな屈折率の変化を確認。この処理により膜厚の減少が確認でき、また屈折率の増加から膜が緻密になったことが予想されます。


シリコン酸化膜の膜質分析


分光エリプソメータによる同種膜内での膜質変化

Si基板上のSiO₂薄膜は、成膜開始時から膜質が途中で変化してしまうことがあります。UVISEL Plusではその違いを 屈折率の違いから評価できます。

SIO2膜の膜厚と屈折率

液中での薄膜分析


分光エリプソメータ液体測定用セルを用いた分析

容易に液中の高分子薄膜の膨潤の評価ができます。

液中での薄膜分析図

In-Situでの薄膜評価


チャンバへの分析パーツ組込によるチャンバ内ウェハ分析

チャンバ外部から光を照射し、試料の反射光をチャンバ外で検出することにより試料を大気中に出さずに薄膜を評価できます。

大気日暴露構成図

分光エリプソメータ UVISEL Plus

Åオーダの膜厚の光学定数評価
機械的動作を伴わない位相変調方式と温調機能により、振動などの影響を抑え、高いSN比で信頼性のある評価が可能です。
85 μmまでの膜厚評価(膜の状態に依存)
高い波長分解能と独自の光学系により、広いレンジの膜厚評価が可能です。

分光エリプソメータ UVISEL Plus

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