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2002年8月28日 - 当社は、エネルギー分散型X線分析装置(EDX)の心臓部である、液体窒素を使わない新型X線検出器を開発、9月より受注を開始します。本製品は電子顕微鏡と組み合わせるため、新たに開発した超低振動の冷凍機を採用。従来までの電気冷却方式で課題となっていた電子顕微鏡に与える振動影響や冷却能力の問題を克服しました。X線分析装置のトップメーカーとして新たに本製品をラインナップに加えることで、顧客の多様なニーズに対応していきます。
2000年12月14日 - −X線分析技術と光学検査技術の柱に、大学の最先端研究を付加し、次世代携帯電話やPDAなどの多層基板を非破壊検査・分析装置を開発−
