電子線技術と光技術を融合した結晶欠陥検出イメージング専用機を業界で初めて開発

2016年8月26日 - 8K以上の高精細な欠陥イメージング画像を4分で 次世代型パワーデバイスの研究開発スピードアップへ貢献

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