エネルギー ~GD-OESアプリケーション~

Liイオン電池

大気遮断が必要な試料の深さ方向元素分析 
二酸化炭素や水分と反応しやすいリチウムを含むリチウムイオン電池の正極材料を大気と遮断した状態で測定しました。

軽元素を含む粉粒体の組成分析 
粉末試料を粉末状態のまま軽元素を含む成分分析を、強酸を使用せずに安全、かつ少ない工数で行いました。

LiB 電極表面からの劣化評価 
リチウムイオン電池の正極・負極の劣化評価において、断面出しをせずに元素の深さ方向分析を行いました。

rf-GD-OESによる電池材料の評価
rf-GD-OESは原子発光を応用した分光分析法のため、水素Hなどの軽元素の分析を行うことができます。よって、リチウムLiも測定できるということで、最近ではLi電池材料の分析・評価などに応用される場合があります。

化合物半導体

rf-GD-OESによる化合物半導体の評価
最近のrf-GD-OESは、低速スパッタリング制御が可能であるパルススパッタユニット が搭載されているため、サブnmオーダーの深さ分解能を有しています。このようなGD-OESを、pulse-GD-OESと呼んだりもしますが、これを用いると、化合物半導体の量子井戸構造(MQW : Multi Quantum Well)の成膜評価などを行うことができます。