耐食性の高い試料に対する前処理(エッチング)

ステンレス、チタンなどの材料をはじめ、エッチングが難しい材料に対する前処理やウェットでは溶出する析出物や介在物の前処理に適しています。

rf-GDプラズマによるエッチングの応用

組成・組織の違いを反映させるためのエッチング

鏡面研磨やFIB・CP処理によりできた凹凸のない試料表面に若干の凹凸を付け、観察しやすくするための前処理に適しています。

FIB加工後の処理:組成の違いを反映

表面汚れ・研磨ダレの除去(プラズマクリーニング)

表面のコンタミ除去や研磨によるダレなどを除去するプラズマクリーニング的な処理も行うことが可能です。

研磨仕上げのみ/処理時間10秒比較図

EBSD観察の前処理

rf-GDによる前処理を行うことで、EBSP観察がより行いやすくなる場合があります。材料解析の一つの手法として、ご検討ください。

EBSD観察の前処理前後画像比較

アプリケーションノート

前処理用途としての活用例


rf-GDによる前処理(TENSEC)にご興味のある方には
慶應義塾大学 清水健一先生・三谷智明先生共著
「A New World of Scanning Electron Microscopy」をご紹介致します。
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