モノクロメータ(分光器)/検出器
ハイパースペクトルカメラ用分光器 H116/H135分光器
概要
HORIBAが独自の光学設計技術で、紫外から近赤外の広い波長範囲をカバーする、ハイパースペクトルカメラ用の分光器を提供します。自社製回折格子を搭載し、高空間分解能・高波長分解能を実現します。２次元ScientificＣＭＯＳセンサー搭載で、高速、高量子効率、低ノイズが実現します。半導体・工業・食品・製薬・医用・農業等、ハイパースペクトルカメラのアプリケーション毎にカスタマイズが可能です。
特長
- 高波長分解能、高空間分解能、高スループット（開口数：f/2.3)
- 広い波長範囲 (200 nm-1000 nm)をカバーできる。
- 高速、高量子効率、低ノイズの２次元ScientificＣＭＯＳセンサー搭載
- 複雑なスペクトル処理がオンボードで可能。( High Power Dualcore ARMと２GBメモリ)
- インターフェース:USB3
アプリケーション
- 反射率測定
- 品質管理
- プロセスモニタリング
- 遠隔操作空中センシング
- ウェハ検査
- リサイクル
- 食品検査
※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。
製造会社: HORIBA Scientific
仕様
H116 | H135 | |
|---|---|---|
波長範囲 | 185~920 nm OR 280-1050 nm | 185~1050 nm |
入力 | 入力光学系は要相談 | |
波長分解能 | 1 nm (22 umスリット） | 3 nm（22 umスリット） |
空間分解能 | 40 um | 20 um |
波長分散 | 34.6 nm/mm; 0.38nm/pixel | 59.0 nm/mm; 0.65nm/pixel |
空間フィールド | 4 mm | 8 mm (最大20mmまで） |
クロストーク | < 0.1% | |
焦点距離 | 116 mm | 135 mm |
Ｆ値 | F/2.3 | F/2.3 |
Smile・Keystone | 1.5 pixel (typical) | |
迷光 | < 0.1% (typical) | |
波長精度 | 0.1 nm | |
H116 | H135 | |
|---|---|---|
センサー | 裏面照射型Scientific CMOSセンサー(ローリングシャッター) | |
画素数 | 2048 x 512 | 2048 x 2048 |
CMOS画素サイズ | 11 μm x 11 μm | |
量子効率 | ピークQE:77%@250nm 95%@560nm | |
センサー温度 | 冷却なし | |
フレームレート | 94 fps (HDR mode), | 24 fps (HDR mode), |
飽和容量 | 90 ke- (HDR mode), | |
通信インタフェース | USB 3 | |
読み出しノイズ | 1.6 e- (HDR mode), | |
AD変換 | 16-bit (HDR mode), | |
ダイナミックレンジ | 95 dB (HDR mode), | |
非線形性 | < 1.8% (maximum) at Low Gain (LG) | |
周囲温湿度 | 動作周囲温度15～40℃ | |
電源 | 90-264 VAC, 47~63 Hz | |
ソフトウェア | 専用デモソフトウェアでご評価いただけます。 | |