モノクロメータ(分光器)/検出器

マルチチャネル分光器 M116/M135分光器

概要

HORIBAが独自の光学設計技術で、紫外から近赤外の広い波長範囲をカバーする、マルチチャネル小型分光器を提供します。最大６４本のバンドルファイバから入力光に対して、低いクロストークで同時測定が可能です。2次元Scientific CMOSセンサー搭載で、高速、高量子効率、低ノイズが実現します。

特長

  • 最小限のクロストークで32チャネル(M116)、64チャネル(M135)同時測定可能
  • 広い波長範囲 (200 nm-1000 nm)をカバーできる。
  • 高波長分解能(1 nm)、高空間分解能
  • 高速、高量子効率、低ノイズの２次元ScientificＣＭＯＳセンサーが搭載されている。
  • 複雑なスペクトル処理がオンボードで可能。（High Power Dualcore ARMと２ＧＢメモリ）
    インターフェース:USB3

アプリケーション

  • 蛍光
  • 反射率測定　
  • 品質管理
  • プラズマモニタ
  • ウェハ検査
  • 血液、DNA測定

※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。

製造会社: HORIBA Scientific

仕様

M116

M135

波長範囲

185~920 nm  OR  280-1050 nm

185~1050 nm

入力

ファイバ径φ200 umの場合最大8チャネル
ファイバ径φ100umの場合最大16チャネル
ファイバ径φ70umの場合最大32チャネル

ファイバ径φ200 umの場合最大16チャネル
ファイバ径φ100umの場合最大32チャネル
ファイバ径φ70umの場合最大64チャネル

波長分解能

1 nm (22 umスリット）

 3 nm（22 umスリット）

波長分散

34.6 nm/mm; 0.38 nm/pixel

59.0 nm/mm; 0.65 nm/pixel

クロストーク

< 0.1%

焦点距離

116 mm

135 mm

Ｆ値

F/2.3

F/2.3

Smile・Keystone

1.5 pixel (typical)

迷光

< 0.1% (typical)

波長精度

0.1 nm



M116

M135

センサー

裏面照射型Scientific CMOSセンサー(ローリングシャッター)

画素数

2048 x 512

2048 x 2048

CMOS画素サイズ

11 μm x 11 μm

量子効率

ピークQE:77%@250nm 95%@560nm

センサー温度

冷却なし

フレームレート

2D sCMOSセンサー上にて
94 fps (HDR mode),
188 fps (STD mode)

2D sCMOSセンサー上にて
24 fps (HDR mode),
47 fps (STD mode)

飽和容量

90 ke- (HDR mode),
100 ke- (STD mode LG),
2 ke- (STD mode HG), (typical)

通信インタフェース

USB 3

読み出しノイズ

1.6 e- (HDR mode),
1.3 e- (STD mode HG), (typical)

AD変換

16-bit (HDR mode),
12-bit (STD mode)

ダイナミックレンジ

95 dB (HDR mode),
68 dB (STD mode LG),
64 dB (STD mode HG), (typical)

非線形性

< 1.8% (maximum) at Low Gain (LG)
<0.9% (maximum) at High Gain (HG)

周囲温湿度

動作周囲温度15～40℃
相対温度<70%(結露なし)
保管温度-25～45℃

電源

90-264 VAC, 47~63 Hz

ソフトウェア

専用デモソフトウェアでご評価いただけます。
DLL提供もいたします。

 

 

 

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