モノクロメータ(分光器)/検出器
コンパクト分光器 VS70
概要
半導体、医用、ライフサイエンス、工業分野等、幅広い実績をもつ、ロングセラーの小型分光器です。自社技術の収差補正型凹面回折格子を使用し、70mmの焦点距離でありながら、高分解能、高スループットで低迷光な高度な光学系を実現しました。
特長
- お客様の要求に合うようにカスタマイズ可能
- 小型のため、さまざまの装置に搭載可能
- 波長範囲は次の6種類から選択可能、200-860nm、200-910nm、380-750nm, 200-1050nm、380-1050nm、650-1020nm
- 低ノイズ・大ダイナミックレンジ・高線形性の検出器
- 検出器は用途によって選択可能、高速、広ダイナミックレンジ、スマート
- 凹面グレーティング搭載で優れた光学性能、高スループット（F2.3)、低迷光
- 裏面照射型のＣＣＤ検出器
- 安定、高信頼性
- スマート機能（感度機差補正、光源制御、温湿度モニタ、判定・同定アルゴリズム、複数の連携）の追加。
アプリケーション
- プラズマ発光分光
- 蛍光
- リフレクトトメトリー
- 吸収
- 品質管理
- ウェハ検査
※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。
製造会社: HORIBA Scientific
仕様
分光器仕様
波長範囲 | 200-860 nm, 200-910 nm、380-750 nm、200-1050 nm、380-1050 nm、650-1020 nmから選択 | ||||||||
ファイバコネクタ | SMA （標準)、SMA以外入力コネクタも可能 | ||||||||
波長分解能 | 約1.5 nm (200-1050 nm仕様で25um Slitを使用した場合）スリット幅は、25-37-50-62-75-100-125-200 umから選択 | ||||||||
焦点距離 | 70 mm | ||||||||
F値 | F/2.3 (NA:0.22) | ||||||||
波長精度 | 0.５ nm以下 | ||||||||
迷光 | 0.1%以下 |
検出器仕様
VS70 JY | VS70 MC | VS70-CCD-HS | VS70-CCD-HD | VS70-PDA | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
CCD: S11071 | CCD: S11851 | |||||
画素数 | 2048 x70 | |||||
画素サイズ | 14 x 14um | |||||
受光面サイズ | 28.7 x 1 mm | |||||
量子効率（ＱＥ） | > 75% (450-700nmの範囲で） | |||||
冷却温度 | 非冷却 | 非冷却 | 冷却（５℃） | 非冷却 | 非冷却 | 非冷却 |
飽和電荷量 | 300,000 e¯/pixel | > 235,000 e¯ (typical) | >235,000 e¯ (typical) | > 200,000 e¯/pixel | 高感度モード: 250,000e¯ | 100 Me¯ (1 Ge¯ optional) |
読み出しノイズ | 50 e- | 30 e- (typical); | 30 e- (typical); | 35 e¯(maximum = 45 e¯) RMS | 高感度モード: 35 e¯ | 3900 e¯ |
ADC分解能 | 16-bit | |||||
ダイナミックレンジ | 6,000:1 | 7,800:1 | '7,800:1 | 6,000:1 | 高感度モード: 7,000:1 | 26,000:1 |
非線形性 | <0.4% (corrected) | |||||
暗電流 | 50 e-/pix/s (typical); | 50 e-/pix/s (typical); | 7 e-/pix/s (typical); | 50 e-/pix/s (typical); | 50 e-/pix/s (typical); | 200ke-/pix/s (@25°C) |
通信インタフェース | Ethernet, UART, USB, SPI, I2C | USB 2, Ethernet and EtherCAT | USB 2.0 high and full-speed | USB 2.0 high and full-speed | USB 2.0 high and full-speed | |
周囲温湿度範囲 | 動作温度： +15℃～ 40℃; 相対湿度 <70% (結露なきこと); | |||||
外形寸法図・他（単位：mm）
