モノクロメータ(分光器)/検出器
高スループット OES Star
概要
HORIBAが独自の光学設計技術で、紫外から近赤外の広い波長範囲で、高分解能で高いスループットを有する分光器を提供します。高度なエレクトロニクス技術により、高速動作かつ高ダイナミックレンジがが得られ、半導体の、エンドポイントモニタや、プラズマ発光分光（OES）に最適です。HORIBAの半導体OES分光器は、お客様から長く高い評価をいただいていますが、本機種は最上位機種です。
特長
- 高波長分解能（1nm)で高スループット、入力開口数はF/2.3
- 広い波長範囲 (200nm-1000nm)内で、対称のピーク形状
- 微弱なプラズマ発光を高感度で検知→エンドポイントモニタに最適
- 検出器は電子冷却式か非冷却式のＣＣＤの選択可能
- 裏面照射型のＣＣＤ検出器
- インターフェースUSB2, Eithernet もしくはEitherCAT
- 高スループットを実現するための独自光学設計
- 分光器に特化した高度なエレクトロニクス設計により、低ノイズ、高ダイナミックレンジ、高線形性を実現
アプリケーション
- プラズマ発光分光
- Optical Emission Spectrometry (OES)
- リフレクトトメトリー
- プロセスコントロール
- 品質管理
- ウェハ検査
※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。
製造会社: HORIBA Scientific
仕様
分光器仕様
波長範囲 | 185-1050 nm |
入力 | SMA （標準)、SMA以外入力コネクタも可能 |
波長分解能 | 約1.0 nm (幅22 um のスリットを使った場合） |
平均波長分散 | 34.6 nm/mm、0.48 nm/pixel(14 um pixel size) |
焦点距離 | 116 nm |
F値 | F/2.3 (NA:0.22) |
波長精度 | 0.1nm以下 |
迷光 | 0.1%以下 |
検出器仕様
ハイグレード | ノーマルグレード | |
画素数 | 2048 x256 | |
画素サイズ | 12 x 12 µm | |
受光面サイズ | 24.5 x 3.0 mm | |
量子効率（QE） | 90% at the peak | |
冷却温度 | -5℃ | |
飽和電荷量 | 500,000 e-/pixel | |
読み出しノイズ | 50 e- | |
ADC分解能 | 16-bit | |
ダイナミックレンジ | 10,000:1 | |
非線形性 | <0.1% (corrected) | <0.1% (corrected) |
暗電流 | 1.5 e-/pixel/s (@-5℃) | |
通信インタフェース | USB 2, Ethernet and EtherCAT | |
周囲温湿度範囲 | 動作温度： +15℃～ 40℃; | |