モノクロメータ(分光器)/検出器
EtherCAT対応小型分光器 VS-70 MC
概要
EitherCAT、Ethernet, USBが接続可能な小型分光器です。自社設計、自社製の凹面回折格子を搭載した分光器で、迷光や収差の小さい光学系を実現しています。200 nm-900 nm の波長範囲で、高感度・高分解能設計のため、半導体プラズマモニタ、ウェハ検査用にも使用可能です。他の波長範囲ご希望の方もご相談ください。
特長
- マルチインターフェース（USB2, Ethernet, EtherCAT )
- 高分解能、高スループット
- 均一なスペクトル応答
- 広い波長範囲 紫外から近赤外まで
- 高ＳＮ比、高ダイナミックレンジ
- 高スループットかつ低迷光
- インターフェース:USB2 Ethernet, EtherCAT
アプリケーション
- 半導体プラズマモニタ
- Optical Emission Spectrometry
- 蛍光
- 吸収測定
- 反射測定
- ライフサイエンス
- プロセスモニタリング
※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。
製造会社: HORIBA Scientific
仕様
分光器仕様
波長範囲 | 200nm -910nm |
入力 | FC /ＳＭＡ/ 他のコネクタはご相談ください |
波長分解能 | 2 nm |
波長分散 | 25.2nm/mm |
焦点距離 | 70 mm |
F値 | F/2.3 |
迷光 | < 0.4% (typical) |
波長精度 | 0.4 nm |
検出器仕様
CCD 非冷却 | CCD 冷却 | |
|---|---|---|
画素数 | 2048 x 70 | |
CMOS画素サイズ | 14 μm x 14 μm | |
検出エリア | 28.7 mm x 1 mm | |
量子効率 | 75% for 450-700 nm | |
センサー温度 | 非冷却 | 5℃ |
飽和電荷容量 | 200 ke- (min) | |
通信インタフェース | USB 2.0 HS, Ethernet(10/100) or EtherCAT | |
スペクトルレート | 770 spectra/s | |
読み出しノイズ | 30 e- (typ) | |
AD変換 | 16-bit | |
ダイナミックレンジ | 7,800:1 (typ) | |
最大S/N比 | 447:1 (min) | |
暗電流 | 50 e- /pixel/s (typ) | 7 e- /pixel/s (typ) |
非線形性 | < 0.4% (補正後） | |
コミュニケーションモード | ・Eithernet/EtherCAT/USB2.0 | |
周囲温湿度 | 動作周囲温度15～40℃ | |
電源 | 24VDC @ 0.36A (typical) 3 -Pin M8 Connector | |
ソフトウェア | 専用デモソフトウェアでご評価いただけます。 | |