モノクロメータ(分光器)/検出器
真空紫外小型分光器 VU-90
概要
HORIBAは自社製グレーティングを採用した、小型の真空紫外分光器を提供します。検出器も自社製品で、特別な表面処理をしたCCDを採用しており、波長範囲は115 nmから感度を有します。また、分光器内は光の吸収を抑えるために窒素雰囲気か真空に、散乱による迷光を抑えるためのブラックコーティングがされています。他の分光器と組み合わせることで、真空紫外域を含む広波長範囲の分光器が実現します。
特長
- 超小型真空紫外分光器
- 波長範囲：115nm-320nm、（他の分光器との組みあわせで近赤外まで可能）
- HORIBA製凹面グレーティング、検出器を搭載した、高スループットかつ低迷光
- 冷却CCD搭載で高感度システム化可能
- 高波長分解能:0.5nm
アプリケーション
- プラズマモニタ
- 蛍光
- ガス分析
- 環境モニタ
- ウェハ検査
- 食品安全管理
※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。
製造会社: HORIBA Scientific
仕様
分光器仕様
波長範囲 | 115nm-320nm (高次カットフィルタは使用不可） |
波長分解能 | 0.5nm (22um ピンホール)、 0.75nm (40um ピンホール） |
波長分散 | 34.6nm/mm, 0.38nm/pixel |
焦点距離 | 90 mm |
コーティング | フッ化マグネシウム （グレーティングとミラーに） |
分光器内雰囲気 | 真空（10-6Torr) もしくは窒素雰囲気 |
F値 | F/10 |
検出器仕様
画素数 | 2048 x70 |
画素サイズ | 14 umx 14um |
受光面高さ | 1 mm |
量子効率(QE) | 下記参照 |
窓 | 窓なし、もしくはフッ化マグネシウム窓 |
冷却温度 | -45℃（真空、周囲温度25℃）、-25℃（窒素パージ、周囲温度25℃） |
飽和電荷量 | 500,000 e¯/pixel |
サンプリング速度 | 45kHz or 500kHz |
スペクトルレート | 20Hz (45kHzサンプリング）、189Hz (500kHzサンプリング） |
読み出しノイズ | 10e- （45kHzサンプリング）、20e-(500kHzサンプリング） |
ADC分解能 | 16-bit |
ダイナミックレンジ | 50,000:1 |
非線形性 | <0.2% |
暗電流 | 0.1 e-/pixel/s (@-45° C) |
通信インタフェース | USB 2, Ethernet and EtherCAT |