EMIA-Proでは，基本性能を高める開発を実施したが，より高精度な分析を行うためには，燃焼に使用する酸素ガスも重要な要素である。純度99％～99.99％の酸素ガスボンベでは，炭化水素ガスがおよそ20～30 ppm含まれている。試料燃焼時にこの炭化水素も燃焼し，プラス誤差となって現れる。このため，微量炭素分析においては，99.999％以上の高純度ガスを使用するのが望ましいが，ランニングコストに影響してくる。

高純度炭素分析に重要なことは，炭化水素の除去であり，高純度な酸素を必要としないEMIA-Expertでは，ガス精製器とフィルタ加熱機構を装備し，微量域の炭素・硫黄における高精度分析を実現している。Figure 9に，微量域炭素分析における精製器装着効果を示す。