材料物性
フォトルミネッセンス測定装置
化合物半導体の評価に最適。
基礎研究からマッピングルーチン測定まで、幅広いニーズにお応えします。
非破壊、非接触による、化合物半導体の組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価が行えます。
用途
- 化合物半導体エピ層の組成分析
- 発光材料の欠陥
- 界面の評価
- 光集積回路の非破壊評価
堀場製作所ではホリバ・ジョバンイボン社の分光器（iHR シリーズ、FHR シリーズ）と検出器（Synapse、Symphony) にレーザ、クライオスタットを組み込んだフォトルミネッセンスシステムの設計を承っております。
PL測定発光領域
代表的な半導体材料の発光領域を示します。
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