X線分析顕微鏡(微小部X線分析装置)は、X線ガイドチューブを用い微小領域を分析できる顕微鏡タイプの蛍光X線分析装置です。HORIBA独自のX線集光素子を使った、細くて強度の高いX線ビーム方式を採用し、X線コリメータを使った従来の方式に比べ微小部の高速測定が可能です。XGTは、検出器側を真空状態にしながらも試料室は大気環境を保てる特殊な機構により、サンプル形態を問わず分析できます。真空状態で分析が難しい粉体、液体、含水試料などもそのまま前処理不要で分析でき、様々な試料の元素分析に対応できます。

X線分析顕微鏡(微小部X線分析装置)の原理

試料にX線を照射し、試料から発生してきた蛍光X線スペクトルは、元素固有であることから蛍光X線の発生エネルギーとX線強度を用いて試料の定性分析と定量分析を行います。固体、液体、粉体の定性、定量分析が、非破壊で行なえます。




X線分析顕微鏡(微小部X線分析装置)製品ラインアップ


高感度化+新イメージング技術により、スピード異物分析が一台で完結!進化したμXRF

超大型試料室モデル XGT-9000SL

操作性・機能・性能そのままに大型試料の対応が可能に。 大型プリント基板や半導体ウェハ、考古学試料など貴重な大型試料を非破壊で分析可能。