SPM Monitor image

CS-150是半导体制造中清洗工艺的SPM溶液用于高精度药液浓度的监测仪,实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以实时检测金属离子以及有机物的清除作业中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分浓度,通过报警信号通知自动补给的时间。由于实现了高速响应性和短的检测周期,可以忠实地跟踪浓度变化,并且,由于小巧化设计,可以更容易组装到清洗装置中。

TAPPS is a complete pump/probe transient absorption system designed to assist scientists in understanding the deactivation dynamics of excited states.

CS Series Monitors

高速响应、小型化的化学药液浓度计,TMAH/H2O2药液浓度计是单晶圆和批次式清洗设备的理想之选

The investigation of ultrafast dynamics in chemistry and biology demands information over a wide spectral range to identify the changing concentration of species and molecular exci-tation.