近红外光谱学

具有1000mm的长焦距，该光谱仪非常适用于对杂散光要求极其严格的应用，比如拉曼荧光激发或者当发射结构分析需要超高分辨率的情况。

无论您的样品是气体、半导体、激光还是其它，1250M光谱仪都是您的最佳选择，为您的光谱研究提供最高的分辨率。

The 750M delivers the resolution of a typical 1.0 metre spectrometer and the throughput of a smaller instrument in a convenient package.

CS-137高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的BHF溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测硅氧化膜的蚀刻以及晶片表面的微粒清除作业时所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保BHF溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。

在线多样监测！！

适用于使用批次式、单槽、单晶圆各方式的清洗装置。

24小时实时监测半导体湿法蚀刻中的FPM药液浓度

The Gemini 180 is a fully automated, double additive grating scanning monochromator. The incorporation of toroidal optics provides for optimum throughput and spectral resolution. It is ideal for applications that require low stray light and illumination including Transmission, Absorbance, Reflectance, and Fluorescence.

H-20单色仪采用凹面像差校正全息光栅

HandScan手持式控制器可在远至10英尺的地方设定或扫描单色仪波长、开启或关闭快门、操作自动狭缝、旋转光栅塔轮及控制自动光路转换镜。

24小时实时监测半导体湿法蚀刻中的HF/HNO3药液浓度