Hydrofluoric Acid Monitor CM-200A/210A

实时显示半导体制造工艺中的氢氟酸浓度

iHR320 Imaging Spectrometer

iHR320提供了这样一种平台, 通过它可以容易实现当前和今后多年的光谱测量需求.

iHR550 Imaging Spectrometer

The iHR550 spectrometer offers a unique combination of spectral quality, flexibility, robustness, and ease of use that makes it the ideal general-purpose spectrometer for performing spectral measurements with quality results.

InGaAs Array Detector

The HORIBA Jobin Yvon family of NIR array detectors, the Symphony Series, feature spectroscopic grade InGaAs detectors in a linear array of 512 or 1024 pixels.

MicroHR Spectrometer

MicroHR是一种短焦距的Czerny-Turner型光谱仪,它可用作成像摄谱仪或扫描式单色仪。用作摄谱仪时,入口可装固定或可调的狭缝,出口配有独特的CCD予调焦的适配器

Motorized MicroHR Spectrometer

和成像摄谱仪或者扫描单色仪一样,新型的自动MicroHR允许用户实现快速精确的测量,以及其他类似焦距的光谱仪无法提供的多种用途。

MicroHR NIR Spectrometer

The NIR MicroHR is a 140 mm focal length spectrometer featuring gold optics (for increased through-put in the NIR spectral region) and interchangeable gold gratings for optimization of optical components and wavelength range selection.

Standard Clean 1 (SC-1) chemical concentration monitor image

适合于使用单槽或多槽方式的清洗装置

外形小巧、响应快速的SC-1溶液浓度计

Appearance of CS-152, SC-2 monitor

CS-152高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的SC-1溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化,可用于监测清除金属离子时所使用的SC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制,可以确保SC-1溶液的浓度保持在允许范围内,同时,还可以避免不必要的药液更换工作。由于测量周期短,可以精确地跟踪浓度变化,小巧化设易于组装到清洗装置中。

SpectrAcq2

SpectrAcq2不仅仅是另一套读出系统--它是结构紧凑、高速率、高性能的光谱数据采集控制器,专为先进光谱及光测量应用而设计.