近红外光谱学

CS-150是半导体制造中清洗工艺的SPM溶液用于高精度药液浓度的监测仪，实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以实时检测金属离子以及有机物的清除作业中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分浓度，通过报警信号通知自动补给的时间。由于实现了高速响应性和短的检测周期，可以忠实地跟踪浓度变化，并且，由于小巧化设计，可以更容易组装到清洗装置中。

Symphony系列CCD探测器是世界上光学光谱研究者；HORIBA Jobin Yvon公司的一类阵列探测器。Symphony CCD探测器集高灵敏度、高速率、低噪音、坚固耐用，紧凑及高性价比于一体，该探测器是光谱探测方面一项巨大的变革，在各类光谱应用中也表现出卓越的性能。

Synapse CCD 和 EMCCD探测器是科研级光谱探测的解决方案，可应用到简单的吸收光谱测量以及具挑战性的拉曼和光致发光光谱测量当中

高速响应、小型化的化学药液浓度计,TMAH/H2O2药液浓度计是单晶圆和批次式清洗设备的理想之选

The TRIAX 180 是一款高光通量全自动紧凑型成像光谱仪。

TRIAX 190是最紧凑的成像光谱仪，它可以同时配置可更换的三光栅转动架和可选的自动控制双出射端。