Analysis based on

Mixed Injection System Liquid Vaporizer MI-1000/MV-1000 Series

混合注入MI/MV 系列

通过气液混合气化方式实现了液体材料的高效率气化

多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

提供多气体，多量程的解决方案，是HORIBA销量第一的气体质量流量控制器。高精度，快速响应，轻巧的尺寸。全金属

SEC-E series mass flow controllers

Solenoid valve SEC-E series for Bio process - mass flow controller

Low cost solenoid valve mfc's are suitable for flow control from 0.2sccm to 500slm N2 equivalent.

Water Distribution Monitor

TW-100 给水监测系统

TW-100是HORIBA专为给水系统设计的一款水质分析仪。其设计紧凑，能同时监测4项参数（浊度，色度，余氯以及水压）或多达7项参数（标准四参数外加pH,电导率和水温）。而且无需试剂。

晶圆背面冷却系统 GR-300系列

晶圆背面冷却系统 GR-300系列

GR-300系列产品可用于控制对由静电夹固定的晶圆的背面进行冷却的气体

适用于使用He，Ar等气体进行冷却的设备系统